Tetrafluorid uhličitý (CF4) vysoce čistý plyn
Základní informace
| CAS | 75-73-0 |
| EC | 200-896-5 |
| UN | 1982 |
Co je to za materiál?
Fluorid uhličitý je při standardní teplotě a tlaku bezbarvý plyn bez zápachu. Je vysoce chemicky inertní díky silným vazbám uhlík-fluor. Díky tomu za normálních podmínek nereaguje s většinou běžných látek. CF4 je silný skleníkový plyn, který přispívá ke globálnímu oteplování.
Kde tento materiál použít?
1. Výroba polovodičů: CF4 se široce používá v elektronickém průmyslu pro procesy plazmového leptání a chemické depozice z plynné fáze (CVD). Pomáhá při přesném leptání křemíkových plátků a dalších materiálů používaných v polovodičových součástkách. Jeho chemická inertnost je zásadní pro zamezení nežádoucích reakcí během těchto procesů.
2. Dielektrický plyn: CF4 se používá jako dielektrický plyn ve vysokonapěťových elektrických zařízeních a plynem izolovaných spínacích zařízeních (GIS). Jeho vysoká dielektrická pevnost a vynikající elektroizolační vlastnosti jej činí vhodným pro použití v těchto aplikacích.
3. Chlazení: CF4 se používá jako chladivo v některých nízkoteplotních aplikacích, ačkoli jeho použití se snížilo kvůli obavám o životní prostředí ohledně jeho vysokého potenciálu globálního oteplování.
4. Sledovací plyn: Může být použit jako sledovací plyn v procesech detekce netěsností, zejména pro identifikaci netěsností ve vysokovakuových systémech a průmyslových zařízeních.
5. Kalibrační plyn: CF4 se používá jako kalibrační plyn v analyzátorech plynů a detektorech plynů díky svým známým a stabilním vlastnostem.
6. Výzkum a vývoj: Používá se v laboratorním výzkumu a vývoji pro různé účely, včetně materiálových věd, chemie a fyzikálních experimentů.
Upozorňujeme, že konkrétní aplikace a předpisy pro použití tohoto materiálu/produktu se mohou lišit podle země, odvětví a účelu. Vždy dodržujte bezpečnostní pokyny a před použitím tohoto materiálu/výrobku v jakékoli aplikaci se poraďte s odborníkem.
